半导体封装用粘结剂

键合胶

TBA001是一款兼具光敏性和粘结性的热塑性聚酰亚胺临时键合胶,具有优良的耐热性,耐化性和力学强度,可替代目前常用的粘结层+释放层双层树脂方案,工艺复杂度更低,产效更高,适用于于芯片晶圆级封装及2.5D/3D三维异构集成封装

TBA003在TBA001的基础上引入自增感光敏性基团,显著降低解键合所需紫外激光能量,从而降低晶圆表面器件失效风险,提高激光器寿命和解键合效率。


好电科技临时键合胶-技术规格:


TBA001

TBA003(紫外吸收更强)

颜色

淡红色

棕色

旋涂厚度

1-3μm

固化条件

300-350℃,10分钟

耐受温度

>300℃

CTE(ppm/℃,Tg以下)

64.8

-

杨氏模量(GPa)

>2

-

断裂强度(MPa)

>50

-

解键合波长

355nm

解键合能量

~450mJ/cm2

~300mJ/cm2

应用领域

FOWLP,2.5D,3D


技术指标

型号状态固含量Tg溶胀





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